热制御デバイス
製品について
独自の高機能材料技術、メタライズ、接合、封止等のプロセス技術および熱設計技術を組み合わせることにより、各種熱特性に優れた热制御デバイスを提供します。本技術を応用した半导体製造装置用ヒータは、優れた面内均熱性や急速昇降温特性を有しています。
セラミックスヒータ（半导体製造装置用ヒータ）
製品化のながれ
热制御デバイスついてのお问い合わせ
当社の热制御デバイス（枚葉式半导体成膜装置向け高精度温度分布制御システムSumiTune）ついて、ご検討にあたりご不明な点などがありましたら、お気軽にお问い合わせください。内容に応じて専門スタッフがお応えします。